广东11选5走势图

膜料点不良的产生原因及对策

2019-08-15

膜料点不良是镀膜产品的一个常见问题,在日企、台企把膜料点称为“斑孔”。顾名思义,膜料点就是蒸镀中,大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面,在基片表面形成点状的突起,有时是个别点,严重时是成片的细点,大颗粒点甚至可以打伤基片表面。


1.jpg 


广东11选5走势图各种膜料的蒸发特性是不一样的,特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异。熔点温度大于蒸发温度的材料,由固态直接气化蒸发,是升华材料;熔点温度小于蒸发温度的材料,由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发,是非升华材料;熔点温度与蒸发温度相当的材料,由固态到气态蒸发,边融化边蒸发。是半升华材料。其中非升华材料最容易产生膜料点,因为液态的膜料继续加热会沸腾,沸腾中膜料中的气泡溢出,飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。


膜料受潮,预熔或蒸镀时水汽逸出,也会造成飞溅产生。下表是几种常用膜料的升华特性。


2.png


膜料不纯、膜料参杂,即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料,这也是膜料点产生的原因。

改善思路:选用好的膜料、充分预溶、控制速率。

改善对策:

一、选择杂质少的膜料

二、对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料

三、膜料在镀前用网筛筛一下

四、精心预熔,氟化镁务必熔透一次蒸镀所需膜料,而五氧化二钽和二氧化钛必须彻底熔透。

五、用一把电子枪镀制几种膜料时,防治坩埚转动中膜料掺杂及挡板掉下膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染,应立即更换。

六、尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。(勤打扫)。

七、选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料,蒸发速率不宜高。

八、膜料去潮,将待用膜料用培养皿盛放在真宽室干燥。


爱特斯生产相关镀膜料:


3.png 


爱特斯光学是一家专业的真空镀膜材料生产厂家。各产品的规格齐全,并且可按照客户的具体要求定制,欢迎您来电咨询!

广东11选5走势图 广东11选5走势图 广东11选5走势图 广东11选5 广东11选5 广东11选5开奖结果 大圣棋牌 大圣棋牌官方版下载 广东11选5开奖记录 广东11选5